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过滤器漏点原因分析 安装人员的责任心不强，造成安装不当 房间风压没有调试到位，不符合设计参数 本身漏，缺陷出厂 检验不严 滤材质量不佳 运输不当 滤材与边框连接不严密
在待测过滤器的上游端发PAO气溶胶作为尘源，待气溶胶混合均匀也就是当上游浓度值稳定后，用气溶胶光度计进行检测，把该浓度值设定为基准值。上游浓度值设定后，不要再调整PAO气溶胶浓度。用光度计在过滤器下游逐点扫描，检测气溶胶浓度，下游浓度与设定的上游浓度的比值，就是过滤器的泄漏率（也称透过率）。
在斜轴泵设计中，活塞能够更好地承受真空引起的拉力。活塞的结构通常更坚固，活塞球通常通过螺栓固定的板固定在其轴槽中。但是，在高真空条件下，仍然可能发生活塞杆的拉伸失效和/或固定板的弯曲。
在叶片泵设计中，叶片在入口从其在转子中的缩回位置伸出。发生这种情况时，来自泵入口的流体会填充由延伸叶片产生的转子中的空隙。如果泵入口处存在过多真空，它将作用于叶片的底部。这会导致叶片在入口期间失去与凸轮环的接触，然后在出口期间加压流体作用在叶片的底部，从而将叶片锤回到凸轮环上。撞击会损坏叶片末端和凸轮环，从而迅速导致灾难性故障。
