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当在泵的进油管路中出现局部真空时，压力的下降会导致流体中形成气体和/或气泡。当这些气泡在泵出口处高压下状态时，它们会剧烈破裂。有数据表明，当爆破压力大于10000 bar，如果发生空气/油混合物燃烧，则温度可能高达1100 º。当气泡在靠近金属表面的位置破裂时，会发生腐蚀（图1）。
图1.气蚀侵蚀发生在硬化表面
在斜轴泵设计中，活塞能够更好地承受真空引起的拉力。活塞的结构通常更坚固，活塞球通常通过螺栓固定的板固定在其轴槽中。但是，在高真空条件下，仍然可能发生活塞杆的拉伸失效和/或固定板的弯曲。
在叶片泵设计中，叶片在入口从其在转子中的缩回位置伸出。发生这种情况时，来自泵入口的流体会填充由延伸叶片产生的转子中的空隙。如果泵入口处存在过多真空，它将作用于叶片的底部。这会导致叶片在入口期间失去与凸轮环的接触，然后在出口期间加压流体作用在叶片的底部，从而将叶片锤回到凸轮环上。撞击会损坏叶片末端和凸轮环，从而迅速导致灾难性故障。
如果安装了吸滤器，则位于油箱外部的过滤器比吸滤器更可取。维修位于油箱内部的过滤器的不便是吸油滤网无法使用的常见原因-直到泵发生故障。如果使用吸滤器，则选择60目（240微米），而不是更常见的100目（150微米）。即使在不利的条件下，过滤器的尺寸也应根据泵的流量进行大幅增加，以确保将压降降至低。无论使用哪种过滤器，都装有一个旁通阀，以防止滤芯产生的压降超过泵的安全真空极限。压力表或传感器也应安装在过滤器的下游，以便能够连续监控泵入口处的压力。
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